2卷些图形进行感光，进而加工出表面微纳结构。1．1基本原理本文中主要研究的是劳厄激光干涉光刻系统，其原理如图1(a)所示，当2束波长为λ，强度同为I0的平面波分别以相同的入射角θ对称地射到同一平面，该平面的光强分布可以写为I=2I0［1+cos(2kxsinθ)］，(1)式中k=2π/λ。因此，可在垂直于x轴方向的平面上形成光栅线条图案，其周期为p，可以写为p=λsinθ．(2)对于涂有光刻胶的衬底进行一次曝光后可以形成周期性的光栅结构。从公式(2)可以看出，光栅的周期由入射角和入射光波长决定，当入射光波长一定时，入射角越小，光栅周期越大;相反矩形线圈-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低张家港滚压机多少钱，则光栅周期越小，如图1(b)所示。如果将涂有光刻胶的样品进行一次曝光后，将其旋转90°可以以同样的条件进行二次曝光，在理想情况下，干涉场内的光强分布可以写为I)在分别垂直于x，y轴2个方向的光栅焦点上，可以得到均匀分布的点阵列矩形线圈-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低张家港滚压机多少钱，其中，2个方向周期均为p。而在工艺过程中，如果通过对于曝光剂量的控制，以及2次曝光设置不同参数，可以得到更为丰富的表面结构［

www.suoguanjixie.name 9，10］。(a)%2束相干光在样品表面光刻胶层形成周期性光强分脉冲涡流矩形传感器是近年来涡流无损检测的研究热点。采用Comsol有限元仿真软件建立了矩形探头有限元仿真模型,并且根据仿真结果设计了矩形探头进行缺陷检测实验。通过仿真和实验的对比分析,结果表明:矩形探头长宽高尺寸在2∶1∶1.5的比例下灵敏度、线性度最佳。2电流设定与其他参数说明图2为线圈的俯视图。激励电流密度大小定义变量为其中，N为线圈的匝数，0．5为设定的电流大小，t为时间，A为线圈的横截面积，T表示线圈的厚度，实验设定为3mm，H为线圈的高度，d为漆包线直径，拟定为0．3mm。按照逆时针方向设定电流密度方向，磁场方向z轴为正向。按照图示①～⑧的顺序为各个线圈添加外部电流密度，此模型的电流只需要添加x，y2个方向，z方向始终为0。如模块1，只在x方，相对磁导率为1，电导率为σ=3．774×107S/m。激励电流幅值大小为0．5A，频率为100Hz。传感器放置在试样上方0．5mm处，即提离高度为0．5mm。2仿真实验与结果分析本文采用单因素轮换法进行仿真实验，即控制矩形线圈的2个变量不变，改变另外一个变量来探究传感器的灵敏度。首次实验保持长宽相等，改变高度来仿真，即按比例变化为1∶1∶h，h表示变化的高度，取值从1变化到2，每次递增0．25。比例基值为20mm，线圈厚度 矩形线圈-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低张家港滚压机多少钱 www.suoguanjixie.name